現像特性の評価

解析露光装置で露光量を変えながらオープンフレーム露光を行い、現像アナライザーにて現像速度測定を行います。

測定メニュー

現像速度曲線の測定





現像速度曲線の測定

感度(Eth)測定





感度(Eth)測定

現像コントラスト(Gamma)測定





現像コントラスト(Gamma)測定

測定装置

【RDA】現像アナライザー