分光透過率測定

ノボラックレジストはUV光を照射することで、感光剤が分解し、透明になります(ブリーチング)。ブリーチングの様子を分光計を用いて、波長における変化として測定します。
どの波長でより強くブリーチングが起こるのか?(どの波長に感度を有するか?)と言った感光特性を評価できます。

測定メニュー

波長300-800nmの範囲での分光透過率測定





波長300-800nmの範囲での分光透過率測定

波長190-300nmの範囲での分光透過率測定





波長190-300nmの範囲での分光透過率測定

測定装置

【VUVSP-900】真空紫外分光測定装置