受託測定関連書籍

多数のフォトレジストのパラメータ測定・評価・解析関連の書籍を紹介しています。

Inside Leapset
Inside Leapset
ノボラックレジスト~CAレジストまで 受託測定の実際が示されています。
193nm対応レジストのシミュレーションパラメータ測定
193nm対応レジストのシミュレーションパラメータ測定
特に193nm用CAレジストについて、受託測定の実際をまとめました。
Dillの論文解説書
Dillの論文解説書
シミュレーションモデルの基礎、Dillモデルの解説書です。シミュレーションパラメータの基本的意味が解ります。
フォトレジスト材料の評価
フォトレジスト材料の評価
本書では、フォトレジストの評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、フォトレジストの評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく述べています。フォトレジストの研究開発者の座右の書として最適です。