ベークパラメータ測定

ベークパラメータとは、ノボラックレジストにおいては、プリベーク時における感光剤の熱分解、CAレジストにおいては、PEB時における脱保護反応に関わるパラメータです。
ベークパラメータは温度の関数であり、アレニウスプロットから活性化エネルギーと頻度因子として求めます。