感光性材料の特性評価サービス
光感光性材料は光を当てることにより、現像液に可溶または不溶化することで、リソグラフィ特性が生まれます。
そこで、当社の解析露光装置および、現像アナライザーを用いて、現像特性の評価を行います。また、露光による屈折率の変化や、透過率の変化を知ることで、その材料のリソ特性を把握することが可能となります。
現像特性の評価
解析露光装置で露光量を変えながらオープンフレーム露光を行い、現像アナライザーにて現像速度測定を行います。
屈折率測定
エリプソメータにより露光前後でのレジストの屈折率を測定します。
プロセスマージン解析
リソグラフィーシミュレーションProlithにより、リソグラフィー・シミュレーションで求めたパラメータまたは、現像特性の評価・解析で求めた現像速度データ用いてシミュレーションを行います。
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- 【PROLITH】リソグラフィ・シミュレータ
分光透過率測定
ノボラックレジストはUV光を照射することで、感光剤が分解し、透明になります（ブリーチング）。ブリーチングの様子を分光計を用いて、波長における変化として測定します。
どの波長でより強くブリーチングが起こるのか？（どの波長に感度を有するか？）と言った感光特性を評価できます。
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QCM法による現像中の膨潤解析
アクリル系のArFレジストは現像中に膨潤することが知られています。
現像中の膨潤の挙動を解析します。解析素露光装置により、QCM基板に塗布したレジストを露光、QCM現像解析装置、RDA-QZ3により現像中の膨潤量を測定します。
