リソグラ フィー・シミュレーションパラメータ測定サービス
リソグラフィーのプロセス評価には膨大な時間と労力が必要です。プロセス評価の効率的な手法として、リソグラフィーシミュレーションを用いることが大変効果的です。
感光性材料の特性評価サービス
光感光性材料は光を当てることにより、現像液に可溶または不溶化することで、リソグラフィ特性が生まれます。そこで、当社の解析露光装置および、現像アナライザーを用いて、現像特性の評価を行います。また、露光による屈折率の変化や、透過率の変化を知ることで、その材料のリソ特性を把握することが可能となります。
アウトガス分析サービス
露光中のレジストから発生するアウトガスは露光機のレンズを曇らせたり、コンタミネーションの原因となります。露光中にどのようなガスが発生するかを検討することが出来ます。最近はArF露光におけるレジストからのアウトガス分析の需要が高まってきています。
ナノインプリント実験サービス
当社では、早くより、プロセス開発用のナノインプリント装置の開発を行ってきました。保有するデモ機によりナノインプリント受託実験サービスを行っております。
実験室構築コンサルティング
リソグラフィーの実験を行なうための実験室の構築・ご相談等を、ご予算に合わせてご提案いたします。小型のコーター、小型現像機、小型べーク装置、小型クリーンチャンバー、簡易露光装置、小型エリプソメータ、小型光干渉式膜厚計などの、mini-lab製品により短納期、低価格な実験室のご提案を致します。
受託測定関連文献ダウンロード
当社20年に渡る受託測定技術に関する文献等を、無料でダウンロード出来ます。
受託測定関連書籍
多数のフォトレジストのパラメータ測定・評価・解析関連の書籍を紹介しています。
シミュレーションパラメータのダウンロードサービス
これまで、当社で測定して来た公開可能なレジストパラメータを、無料でダウンロード出来ます。