受託測定関連書籍
多数のフォトレジストのパラメータ測定・評価・解析関連の書籍を紹介しています。
| フォトレジスト材料の評価 | |
|---|---|
| 本書では、フォトレジストの評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、フォトレジストの評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく述べています。フォトレジストの研究開発者の座右の書として最適です。 | |
サービス内容で検索
- リソグラフィー・シミュレーションパラメータ測定サービス
- 感光性材料の特性評価サービス
- アウトガス分析サービス
- ナノインプリント実験サービス
- 実験室構築コンサルティング
- 受託測定関連文献ダウンロード
- 受託測定関連書籍
- シミュレーションパラメータのダウンロードサービス
