分光透過率測定

ノボラックレジストはUV光を照射することで、感光剤が分解し、透明になります（ブリーチング）。ブリーチングの様子を分光計を用いて、波長における変化として測定します。
どの波長でより強くブリーチングが起こるのか？（どの波長に感度を有するか？）と言った感光特性を評価できます。