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屈折率測定

エリプソメータにより露光前後でのレジストの屈折率を測定します。

測定メニュー

波長300-800nmの範囲での屈折率n,kの測定





波長300-800nmの範囲での屈折率n,kの測定

波長248nmでの屈折率n,kの測定





波長193nmでの屈折率n,kの測定





測定装置

【UTFA-200】エリプソメータ

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