実験室構築コンサルティング
リソグラフィーの実験を行なうための実験室の構築・ご相談等を、ご予算に合わせてご提案いたします。小型のコーター、小型現像機、小型べーク装置、小型クリーンチャンバー、簡易露光装置、小型エリプソメータ、小型光干渉式膜厚計などの、mini-lab製品により短納期、低価格な実験室のご提案を致します。
リソグラフィー評価実験室構築
IC、MEMSの研究開発は、今後も益々活発になり、グローバルな競争も激化しております。ところが、日本のIC、MEMSに関わる企業は、軒並み研究開発費の抑制傾向で、思うように実験に取り組めない研究者様のつらさが聞こえております。
そこで我々mini-labでは、大型実験装置レベルの機能を有し、コンパクト、高性能な小型装置を取り揃えました。
『安価』『小型化』『高性能」『短納期』をモットーに、低価格な実験室のご提案を致します。
- 測定装置
- ミニコーター（mini-lab spin-150）
- ミニべーク(mini-lab bake 150)
- ミニクーリング(mini-lab cool-150)
- ミニ現像機(mini-lab dev-150)
- ミニ膜厚計(Avantes)
- ミニエリプソメーター
- ミニクリーンブース
