リソグラフィーのプロセス評価には膨大な時間と労力が必要です。
プロセス評価の効率的な手法として、リソグラフィーシミュレーションを用いることが大変効果的です。
シミュレーション技術は数値計算の技術であり、入力するパラメータが実際とずれていると、結果も現実から乖離してしまいます。そこで当社では、お客様からフォトレジストをお預かりして、専門技術を駆使したシミュレーションパラメータの受託測定を行っております。
リソグラフィー・シミュレーションについては、こちらのレポートで詳細を記載しています。
ABCパラメータは、フォトレジストの感光性に関わるシミュレーションパラメータです。ノボラックレジストとCAレジストのABCパラメータ測定メニューをご用意しています。
ノボラックレジスト
CAレジスト
フォトレジストの現像に関わるシミュレーションパラメータです。感光剤濃度または保護基濃度と現像速度の関係を求めます。
現像モデルは3種類です。
▼Mackのオリジナルモデル
▼Mackのエンハンスドモデル
▼ノッチモデル
ノボラックレジストとCAレジストの現像パラメータ測定メニューをご用意しています。また、表面難溶化パラメータも現像パラメータとして測定します。
ノボラックレジスト
CAレジスト
ベークパラメータとは、ノボラックレジストにおいては、プリベーク時における感光剤の熱分解、CAレジストにおいては、PEB時における脱保護反応に関わるパラメータです。
ベークパラメータは温度の関数であり、アレニウスプロットから活性化エネルギーと頻度因子として求めます。
ノボラックレジスト
CAレジスト
